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冷场发射扫描电子显微镜

Field Emission Scanning Electron Microscope

仪器型号：SU8010

生产厂家：日本Hitachi公司

仪器价格：330万

技术参数：

◆超高分辨率成像功能和超低加速电压性能（1.0 kV时，分辨率可达1.3 nm）；

◆放大倍率：20-800000（照像倍率），60-2,000,000（显示倍率）；

◆电子枪：冷场发射；

◆加速电压：0.5 kV-30 kV（标准模式），着陆电压：0.1 kV-2.0 kV（减速模式）；

◆物镜光阑（加热型），4孔可选，在真空系统外切换。

仪器用途：

◆显微结构的分析：材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析，包括衍衬成像，电子衍射，高分辨分析；

◆材料微观结构成分分析：成分的定性和半定量分析，元素的点、线和面分析，材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析。